國家智慧財產權局資訊顯示，卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司申請一項名為“粒子束裝置及其方法”的專利，公開號CN122552405A，申請日期為2026年2月電子。
專利摘要顯示，一種用於使用粒子束裝置（3）檢查物體的方法，該方法包括產生靜電場和磁場的配置電子。磁場是使用磁透鏡（41）產生的。電場是在環形電極（39）與物體（9）之間產生的，該環形電極以環狀方式圍繞磁透鏡（41）的對稱軸線（49）。物體（9）的表面法線（25）與對稱軸線（49）之間的角度β大於20°，因此，這些電場是不對稱的。這些不對稱電場用於分離具有不同動能的電子的軌跡（53、61、81），為了檢測這些軌跡，提供了不同的檢測器（63、83）。例如，然後可以使用兩個不同的檢測器（63、83）來生成二次電子影像和背散射電子影像。
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